Xride

公司自有专利技术，形成规则的图形，便于物理建模，并实现精确的电容电压测量。 可用于评估SiC、AlGaN/GaN、Ga2O3等半导体材料中的载流子浓度及其深度分布信息，还可以用来测量绝缘体与半导体界面的界面态特性以及介质层的漏电和击穿特性

根据衬底的导电类型选择合适的接触方式，便于测试

配套软件支持控制Keysight E4980A以及Keysight B150x的MFCMU，同时可以基于B150x进行IV测量，研究介质的漏电特性

高精度定位器，保证射频探针的精确移动与定位；气垫减震台使得探针台在遭遇低频振动时扔能保持探针与晶圆的相对位置稳定。

专用屏蔽系统，减小环境的电磁干扰，实现低的噪声。

探针台与网络分析仪的有机配合，可以实现自动校准与自动测试，提高测试效率。